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壓阻式壓力傳感器工作原理當傳感器處在壓力介質中時，介質壓力作用于波紋膜片上，其中的硅油受壓，硅油將膜片的壓力傳感給半導體芯體。受壓后其電阻值發生變化，電阻信號通過引線引出。不銹鋼波紋膜片殼體感受壓力并保護芯體，因而壓阻式壓力傳感器能在腐蝕性的介質中感應壓力信號。壓阻式壓力傳感器一般通過引線接入惠斯登電橋中。平時敏感芯體沒有外加壓力作用，電橋處于平衡狀態（稱為零位），當傳感器受壓后芯片電阻發生變化，電橋將失去平衡。若給電橋加一個恒定電流或電壓電源，電橋將輸出與壓力對應的電壓信號，這樣傳感器的電阻變化通過電橋轉換成壓力信號輸出。出現在大部分壓力傳感器用制造集成電路的方法，形成四個電阻值相等的電阻條，并將它們連接刻制成惠斯登電橋。惠斯登電橋采用恒流供電，這樣電橋的輸出不受溫度的影響，惠斯登電橋檢測出電阻值的變化，經過差分一化放大器，輸出放大器放大后，再經過電壓電流的轉換，變換成相應的電流信號，該電流信號通過非線性校正環路的補償，即產生了輸入電壓成線性對應關系的4～20mA的標準輸出信號。 為減小溫度變化對芯體電阻值的影響，提高測量精度，壓力傳感器都采用溫度補償措施使其零點漂移、靈敏度、線性度、穩定性等技術指標保持較高水平。壓阻式壓力傳感器應用壓力傳感器是工業實踐、儀器儀表控制中最為常用的一種傳感器，并廣泛應用于各種工業自控環境，涉及水利水電、鐵路交通、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業。 1954年C.S.史密斯詳細研究了硅的壓阻效應，從此開始用硅制造壓力傳感器。早期的硅壓力傳感器是半導體應變計式的。后來在N型硅片上定域擴散P型雜質形成電阻條，并接成電橋,制成芯片。此芯片仍需粘貼在彈性元件上才能敏感壓力的變化。采用這種芯片作為敏感元件的傳感器稱為擴散型壓力傳感器。這兩種傳感器都同樣采用粘片結構，因而存在滯后和蠕變大、固有頻率...
發布時間:
2018
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04
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