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MEMS技術(shù)是在現(xiàn)代微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一門新興科學(xué)技術(shù)，它融合了微電子與精密機械制作技術(shù)，是將微傳感器、微執(zhí)行器以及微信號處理與控制電路、通信、電源集成于一體的微型機電系統(tǒng)。采用MEMS技術(shù)的地震傳感器有著傳統(tǒng)地震傳感器不可比擬的優(yōu)勢。如：檢測靈敏度高、精度高、響應(yīng)范圍大，檢測快速等。
在電梯行業(yè)中，電梯地震傳感器是一個小眾產(chǎn)品，但又是一個關(guān)鍵部件。美、日、歐盟等國外發(fā)達國家制定的標(biāo)準(zhǔn)中都對電梯地震傳感器有著相應(yīng)的要求。
地震傳感器一般分為兩類，一類是傳統(tǒng)的機械式傳感器，一類是電子式傳感器，多為采用MEMS加速度傳感器。前期多采用機械式傳感器，技術(shù)相對成熟，雖然電子式傳感器有著許多先天的優(yōu)勢，更新?lián)Q代需要一個相當(dāng)長的時間。美國和歐洲的一般采用電子式的地震傳感器。
目前，電子式地震傳感器一般采用MEMS技術(shù)的低噪聲、高靈敏度三軸加速度傳感器，來采集地震加速度，輸出相應(yīng)的電信號，通過低通濾波濾除高頻干擾，然后經(jīng)由高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換器送給微處理器，微處理器對數(shù)據(jù)進行分析，判斷地震事件是否發(fā)生，如有地震事件則進行相應(yīng)的觸點輸出，并記錄地震發(fā)生信息。
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